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半導體製程設備(張)

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商品網址: http://www.kingstone.com.tw/book/book_page.asp?kmcode=2014400125322&RID=C1000302652&lid=book_class_sec_se&actid=WISE

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商品訊息描述:














  • 《半導體製程設備(張)》

    半導體元件由矽土製成矽晶圓, 再經數百個製程步驟,才製作出256M級的DRAM。這期間所使用的機器,主要的也不過十數種。晶圓成長爐、磊晶反應器、步進照像儀、化學氣相沉積爐、氧化和擴散高溫爐、離子植入機、乾蝕刻機、電子束蒸鍍機、濺鍍機、化學機械研磨機等。以及封裝製程設備、真空幫浦及系統洗淨機器等主要支援設備。本書對這些機器的構造和操作原理都有詳盡的敘述。

    砷化鎵Ⅲ–Ⅴ化合物半導體製程,如金屬有機化學氣相沉積爐、分子束磊晶和銅製程使用設備、低介電常數介電製作設備以及一些2000千禧年推出的新機器,也都在本書有詳盡的敘述,次世代先進的製程設備也有一些介紹。本書是編著者累積多年經驗、費時一年而完成的。期望能給想從事半導體業的同學們一項內容豐富有力的教科書。給業界的工程師、研究生、教授老們一項便捷的參考。













      第1章晶體成長和晶圓製作
      第2章磊晶沉積設備
      第3章微影照相設備
      第4章化學氣相沉積爐
      第5章氧化擴散高溫爐
      第6章離子植入機
      第7章乾蝕刻機
      第8章蒸鍍機
      第9章濺鍍機
      第10章化學機械研磨
      第11章真空泵和真空系統
      第12章濕洗淨和乾洗淨製程設備
      第13章封裝製程設備



















    • 作者介紹





      張勁燕

      現職:逢甲大學電子系副教授

      學歷:交通大學電子工程研究所博士

      經歷:新加坡Intersil電子公司工程師
      ITT環宇電子公司工程部經理
      台灣電子電腦公司半導體廠廠長
      萬邦電子公司總工程師
      明新工專電子科副教授(或兼科主任)
      逢甲大學電機系副教授(或兼系主任)

      專長:半導體元件、物理
      VLSI製程設備及廠務
      奈米科技
      積體電路構裝

      作者相關著作:《







      語言:中文繁體
      規格:平裝
      分級:普級

      出版地:台灣













    商品訊息簡述:

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    已公開發行的國內電動車大廠凱勝綠能(2246)申請登錄興櫃案,預定6月下旬登錄,未來將朝上市櫃目標努力;另凱勝將於6月1日召開股東常會,全面改選董監事。



    凱勝去年合併營收9.57億元,優於2015年的4,084萬元,稅後淨利6,292萬元,EPS為2.65元。



    凱勝去年度股本,已由2015年的1.36億元,再增資至3.07億元。凱勝去年營運主力,以銷售電動大客車成車、零組件、充電式停車場營收,及勞務收入為主。凱勝為拓展營業規模,及設立電動車輛研發生產基地,已在嘉義馬稠後產業園區設廠,凱勝今年1月23日經董事會通過現金增資625萬股,以每股承銷價46元發行,所募得資金2.87億元,將支應興建新廠所需。至於增資後的股本逾3.13億元凱勝今年3月3日經董事會通過去年度盈餘分派案,每股擬配發股票股利0.86元,將提交6月1日股東常會討論通過。(工商時報)



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    凱勝去年度股本,已由2015年的1.36億元,再增資至3.07億元。凱勝去年營運主力,以銷售電動大客車成車、零組件、充電式停車場營收,及勞務收入為主。凱勝為拓展營業規模,及設立電動車輛研發生產基地,已在嘉義馬稠後產業園區設廠,凱勝今年1月23日經董事會通過現金增資625萬股,以每股承銷價46元發行,所募得資金2.87億元,將支應興建新廠所需。至於增資後的股本逾3.13億元凱勝今年3月3日經董事會通過去年度盈餘分派案,每股擬配發股票股利0.86元,將提交6月1日股東常會討論通過。(工商時報)


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